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氣體分配箱VMB在特氣系統(tǒng)中的作用

2021-01-04 11:09:42    責任編輯: 特氣設備生產制造廠商     0

特氣系統(tǒng)是保證半導體、集成電路、太陽能電池、光纖和科研實驗室等高新型技術行業(yè)中特種氣體的安全穩(wěn)定輸送的供氣系統(tǒng)。VMB在特氣系統(tǒng)中是特氣分配到各工藝用氣點的氣體設備。



特種氣體

特種氣體,簡稱特氣,又名電子特氣,是生產半導體、集成電路、太陽能電池等電子產品的特殊氣體,這些特殊氣體大多都是易燃易爆、有毒、腐蝕性、氧化性等性質的危險性氣體,如硅烷SiH4、笑氣N2O等。

特氣系統(tǒng)的組成

特氣系統(tǒng)由供氣端(一般是氣體鋼瓶)、GC電子特氣柜/GR特氣架、氣體分配箱VMB/VMP、耐腐蝕的EP不銹鋼氣體管道、氣體泄漏監(jiān)測報警系統(tǒng)、使用終端等組成。


VMB在特氣系統(tǒng)中的經濟性

首先,我們來了解一下VBM在特氣系統(tǒng)中的作用,VMB 可根據(jù)客戶的實際需求來設計2、3、4、5或其他點數(shù)的數(shù)目,將氣體一分多,給不同工藝用氣設備供氣,同時供應數(shù)臺機臺,亦可加調壓閥做二次調壓讓壓力更加的穩(wěn)定,設定上下警報訊號做更有效的供應控制。

同時,在特氣系統(tǒng)中,特氣的每次使用都是需要經過吹掃和抽真空的,對于使用同種氣體的不同用氣設備,配置氣體分配箱VMB則只需要做一次吹掃和抽真空,節(jié)省時間成本和人力成本。

以上就是關于特氣系統(tǒng)中氣體分配箱VMB作用的簡單介紹,感謝您的閱讀!